Ett beslut om att senarelägga tester av utrustningen för att öka leveranstakten fortsätter samtidigt att slå mot vinsten, enligt ASML.
Prognosen för årets försäljningstillväxt halveras till 10 procent, från tidigare 20 procent.
Nettoförsäljningen beräknas under tredje kvartalet stanna på 5,1–5,4 miljarder euro, vilket kan jämföras med en snittprognos bland analytiker på 6,5 miljarder.