Åtta storföretag som Softbank, Sony, Toyota och NTT har bildat det gemensamma bolaget Rapidus, som 2027 ska massproducera de nya halvledarna.
Pengarna ska används för forskning och utveckling.
– Vi hoppas att de här stegen kommer att hjälpa till att förbättra konkurrenskraften hos vårt lands halvledarindustri, säger Hirokazu Matsuno, Japans högste kabinettssekreterare.