Stödet ska villkoras av att pengarna går till satsningar på mer klimatvänliga bilar och robotiseringsprogram, rapporterar Reuters med hänvisning till dokument från Tysklands näringsdepartement.
Programmet ska enligt planerna sjösättas 2021 och sträcker sig sedan tre år framåt i tiden.
Pengar ska även slussas till forskning och utveckling inom områden som digitaliserade leveranskedjor, 3D-skrivare och mer samarbete inom produktion, för att bygga upp starkare företagskluster.
Regeringen avser att täcka 60 procent av kostnaderna för storföretag och 80 procent för mindre företag när det görs satsningar på mer klimatvänliga produktionsanläggningar.
Programmet beskrivs som en del av Tysklands stora ekonomiska stimulanspaket som syftar till att hantera de negativa effekterna av coronakrisen.