Uppgörelsen mellan Israel och Hamas innebär att omkring 50 personer som hålls gisslan av Hamas ska släppas mot att Israel går med på en fyra dagar lång paus i striderna.
Men förhandlingarna om alla detaljer fortsätter och det är ännu oklart när den framförhandlade vapenvilan kan inledas.
Den israeliska regeringens säkerhetsrådgivare Tzachi Hanegbi säger sent på onsdagen att ett utbyte av gisslantagna mot palestinska fångar kan bli av tidigast på fredag, ett dygn senare än tidigare obekräftade uppgifter.
"Frisläppanden inleds enligt den ursprungliga planen mellan parterna, och inte före fredag", meddelar Hanegbi enligt AP.
"Saker som vi måste göra"
Netanyahu försvarade på onsdagskvällen i ett tv-sänt tal uppgörelsen.
– Det är vissa saker som vi måste göra, sade Netanyahu på en tv-sänd presskonferens på onsdagskvällen. Han sade att beslutet var "extremt svårt" att ta, men att israeliska soldater kommer att vara skyddade under den "tillfälliga vapenvilan".
Regeringen godkände uppgörelsen i en nattmangling. Ytterhögerpartier i Israels regering motsatte sig i det längsta en tillfällig vapenvila, och ett regeringsparti röstade emot.
Internationella rödakorskommittén ICRC väntas vara mellanhand, och landet Qatar fungerar fortsatt som medlare och granskare av uppgörelsen. Organisationen ska också få träffa de i gisslan som inte släpps de närmaste dagarna.
Många palestinier släpps
Pausen i kriget kommer att förlängas med en dag för var tionde gisslan som släpps, enligt Israels regering. Från Hamas sägs det att pausen kommer att vara som längst i tio dagar.
Den terrorstämplade organisationen välkomnar den "humanitära" pausen i ett uttalande, där man uppger att överenskommelsen innebär att även 150 palestinier kommer att släppas från israeliska fängelser. Israel har publicerat en lista över 300 namngivna palestinska fångar som skulle kunna bli aktuella för frigivning, många av dem tonåringar.
Mer humanitär hjälp ska nå det belägrade Gaza, enligt överenskommelsen.
Välkomnande röster
Beskedet välkomnas också av USA:s president Joe Biden.
"Jag är oerhört glad över att en del av dessa modiga själar, som har uthärdat flera veckors fångenskap och en outsäglig prövning, kommer att återförenas med sina familjer när detta avtal implementerats", sade han.
Uppgörelsen sågs av flera länder som en tillfällig framgång i försöken att hitta en lösning. FN:s generalsekreterare António Guterres välkomnade också beslutet.
Flera människorättsorganisationer var dock kritiska mot att eldupphöret var för kort för att nödhjälp ska kunna nå fram till civila i Gaza.
Drygt 230 personer tros hållas som gisslan av Hamas efter den terrorstämplade gruppens attack mot Israel den 7 oktober, då omkring 1 200 personer dödades av Hamas, merparten av dem civila.
Gazas hälsomyndigheter uppger att fler än 14 000 människor har dödats sedan Israel inledde sitt anfall mot Gaza efter den 7 oktober.
