Först kopplades Emsland i Niedersachsen bort, sedan Isar 2 i Bayern och till sist Neckarwestheim 2 i Baden-Württemberg.
Planenligt vid midnatt till söndag sattes punkt för mer än 60 år av tysk kärnkraft. Nu börjar det långa arbetet med att montera ner reaktorerna och ta hand om de radioaktiva komponenterna. Men först måste man vänta på att den nukleära processen stannar av, vilket innebär att det huvudsakliga arbetet kan påbörjas först nästa år. Sedan beräknas hela nedläggningen ta 15 år.
De 193 bränslestavarna från Neckarwestheim är fortfarande högaktiva och flyttas till en vattenfylld pool i en närliggande byggnad. Där kommer de att förvaras i mellan tre och fem år innan de förs över till behållare för mellanlagring.
Planen är att det radioaktiva avfallet ska förvaras djupt under jord. Men beslutet om exakt var det ska förvaras ser ut att dra ut på tiden, då förslagen ofta möter motstånd från boende som oroar sig för hälsoriskerna.
Från början var det sagt att frågan skulle vara löst till år 2031, med målet att en anläggning skulle vara i drift 2050. Nu ser siktar man på att hitta en lämplig plats någon gång mellan 2046 och 2068.
När man väl funnit den beräknas arbetet med att få tillstånd och bygga upp en fungerande anläggning ta ytterligare 20 år.
Slutförvaringen måste kunna förvara avfallet säkert i en miljon år.
– Mer än 30 000 generationer kommer att påverkas av atomkraftens konsekvenser, efter att den bara använts i 60 år, sade den dåvarande miljöministern Barbara Hendricks (SPD) 2017.