Skotten, som är tillbaka efter svåra skadeproblem, imponerade i åttondelsfinalen mot toppseedade Jannik Sinner. Men i kvartsfinalen mot amerikanen Tommy Paul gick det tyngre.
Paul pressade den dubble Wimbledonmästaren direkt. Murray fick springa mycket mer än sin motståndare och tappade första set med 2–6.
– Det var planen, jag vet att han hade en tuff match i går, säger Paul i segerintervjun.
Spelade enligt plan
Murray vann visserligen det andra setet, men i det tredje tog det till slut stopp. Paul vann matchen med 6–2, 3–6, 6–3.
– När man spelar en tuff match är det bäst att spela enligt plan, och det gjorde jag, säger Paul.
I semifinalen väntar landsmannen Frances Tiafoe. Tiafoe besegrade britten Daniel Evans med 2–1 i set. Trots en tuff inledning kunde amerikanen till sist vinna matchen med setsiffrorna 1–6, 6–1, 6–1.
– Jag är taggad. Han är en god vän, vi har mötts flera gånger. Förhoppningsvis kan jag spela bra i morgon igen, säger Paul.
Ymer till semi i dubbel
I den andra semifinalen möter kanadensaren Felix Auger-Aliassime den regerande mästaren, landsmannen Denis Shapovalov.
I dubbelturneringen är Markus Eriksson och Elias Ymer klara för semifinal. Svenskarna besegrade Pedro Martinez och Andrea Vavassori med 2–0 i set.
I semifinalen på lördag väntar Aisam Ul Haq Qureshi och Jean-Julien Rojer.